Учебное пособие разработано в соответствии с государственным образовательным стандартом высшего профессионального образования по направлению подготовки дипломированных специалистов 11.04.04 «Электроника и наноэлектроника». Впервые технологии микро- и наноэлектроники рассмотрены неразрывно с технологиями высокочистых веществ и материалов в основополагающем ключе «высокая чистота материала — высокое качество продукции». Рассмотрены основные процессы получения высокочистых веществ и материалов на их основе, процессы и технологии получения эпитаксиальных структур кремния, арсенида галлия и др., технологии их обработки при переходе к компонентам электронной техники.
Пособие может быть использовано студентами всех форм обучения, в том числе и по смежным специальностям, как для самостоятельной работы, так и выполнения курсовых проектов, а также в качестве конспекта лекций по курсу «Технология материалов электронной техники». Содержит перечень контрольных вопросов для оценки усвоения студентами материала.
Читать фрагмент...
Uchebnoe posobie razrabotano v sootvetstvii s gosudarstvennym obrazovatelnym standartom vysshego professionalnogo obrazovaniya po napravleniyu podgotovki diplomirovannykh spetsialistov 11.04.04 Elektronika i nanoelektronika. Vpervye tekhnologii mikro- i nanoelektroniki rassmotreny nerazryvno s tekhnologiyami vysokochistykh veshchestv i materialov v osnovopolagayushchem klyuche vysokaya chistota materiala vysokoe kachestvo produktsii. Rassmotreny osnovnye protsessy polucheniya vysokochistykh veshchestv i materialov na ikh osnove, protsessy i tekhnologii polucheniya epitaksialnykh struktur kremniya, arsenida galliya i dr., tekhnologii ikh obrabotki pri perekhode k komponentam elektronnoy tekhniki. Posobie mozhet byt ispolzovano studentami vsekh form obucheniya, v tom chisle i po smezhnym spetsialnostyam, kak dlya samostoyatelnoy raboty, tak i vypolneniya kursovykh proektov, a takzhe v kachestve konspekta lektsiy po kursu Tekhnologiya materialov elektronnoy tekhniki. Soderzhit perechen kontrolnykh voprosov dlya otsenki usvoeniya studentami materiala. CHitat fragment...
