В книге рассматриваются технологические процессы в производстве элементов и устройств радиоэлектронной аппаратуры (РЭА) — электронных проборов, полупроводниковых и гибридных микросхем, микроэлектромеханических систем, антенных устройств, функциональных и защитных покрытий и других, где в качестве основного инструмента используются ионно-плазменные потоки и пучки ускоренных ионов. Рассмотрено технологическое оборудование и оснастка, включая генерирование, ускорение и управление потоками ионов. Учебник предназначен для студентов вузов, обучающихся по специальностям «Проектирование и технология электронных устройств», «Проектирование и технология радиоэлектронных средств» и «Электронные приборы», может быть полезным для студентов других специальностей и специалистов в области радиотехники.
V knige rassmatrivayutsya tekhnologicheskie protsessy v proizvodstve elementov i ustroystv radioelektronnoy apparatury (REA) elektronnykh proborov, poluprovodnikovykh i gibridnykh mikroskhem, mikroelektromekhanicheskikh sistem, antennykh ustroystv, funktsionalnykh i zashchitnykh pokrytiy i drugikh, gde v kachestve osnovnogo instrumenta ispolzuyutsya ionno-plazmennye potoki i puchki uskorennykh ionov. Rassmotreno tekhnologicheskoe oborudovanie i osnastka, vklyuchaya generirovanie, uskorenie i upravlenie potokami ionov. Uchebnik prednaznachen dlya studentov vuzov, obuchayushchikhsya po spetsialnostyam Proektirovanie i tekhnologiya elektronnykh ustroystv, Proektirovanie i tekhnologiya radioelektronnykh sredstv i Elektronnye pribory, mozhet byt poleznym dlya studentov drugikh spetsialnostey i spetsialistov v oblasti radiotekhniki.
The book explores the technological processes in the production of components and devices of radio electronic apparatus (REA) — e-partings, semiconductor and hybrid circuits, microelectromechanical systems, antenna systems, functional and protective coatings, and other, where the main instrument used for ion-plasma streams and beams of accelerated ions. Discusses the technological equipment and tooling, including the generation, acceleration and control of the flow of ions. The textbook is designed for students enrolled in the specialty "Design and technology of electronic devices", "Design and technology of electronic means" and "Electronic devices" may be useful for students of other professions and experts in the field of radio engineering.
