Книга посвящена рассмотрению широкого круга физических принципов, определяющих технологические процессы изготовления интегральных схем радиоэлектронной аппаратуры — технологии получения кремниевых пластин, их оксидирования, диффузии, ионного легирования, литографии, сухого травления, сборки и герметизации готовых микроприборов. Также рассмотрены процессы формирования тонких пленок различными технологическими методами. Приведены основные схемы технологического оборудования и оснастки. Учебник предназначен для студентов вузов, обучающихся по специальностям «Проектирование и технология электронных устройств», «Проектирование и технология радиоэлектронных средств», «Конструирование и технология радиоэлектронных средств» и «Микроэлектроника», может быть полезным для студентов других специальностей и специалистов в области радиотехники.
Kniga posvyashchena rassmotreniyu shirokogo kruga fizicheskikh printsipov, opredelyayushchikh tekhnologicheskie protsessy izgotovleniya integralnykh skhem radioelektronnoy apparatury tekhnologii polucheniya kremnievykh plastin, ikh oksidirovaniya, diffuzii, ionnogo legirovaniya, litografii, sukhogo travleniya, sborki i germetizatsii gotovykh mikropriborov. Takzhe rassmotreny protsessy formirovaniya tonkikh plenok razlichnymi tekhnologicheskimi metodami. Privedeny osnovnye skhemy tekhnologicheskogo oborudovaniya i osnastki. Uchebnik prednaznachen dlya studentov vuzov, obuchayushchikhsya po spetsialnostyam Proektirovanie i tekhnologiya elektronnykh ustroystv, Proektirovanie i tekhnologiya radioelektronnykh sredstv, Konstruirovanie i tekhnologiya radioelektronnykh sredstv i Mikroelektronika, mozhet byt poleznym dlya studentov drugikh spetsialnostey i spetsialistov v oblasti radiotekhniki.
This book is devoted to a wide range of physical principles underlying technological processes of manufacture of integrated circuits of electronic equipment technology of obtaining of silicon wafers, their oxidation, diffusion, ion doping, lithography, dry etching, Assembly and sealing of the finished micro instruments. Also considered the processes of formation of thin films by various technological methods. The basic scheme of technological equipment and tooling.
