В книге рассмотрены результаты экспериментального и теоретического исследования кинетики и механизмов физико-химических процессов в неравновесной низкотемпературной плазме хлора и его смесей с инертными и молекулярными газами. Проанализировано влияние внешних параметров разряда на энергетическое распределение электронов, транспортные и кинетические характеристики электронного газа. Проведен анализ кинетики нейтральных и заряженных частиц; установлены взаимосвязи задаваемых параметров плазмы и начального состава плазмообразующих смесей со стационарными концентрациями активных частиц и плотностями их потоков на поверхность, ограничивающую зону плазмы. Приводятся результаты исследований кинетических закономерностей и механизмов взаимодействия активных частиц плазмы с рядом металлов и полупроводников. Книга предназначена научно-техническим работникам в области неравновесной плазмохимии и плазмохимической технологии, а также студентам и аспирантам соответствующих специальностей.
V knige rassmotreny rezultaty eksperimentalnogo i teoreticheskogo issledovaniya kinetiki i mekhanizmov fiziko-khimicheskikh protsessov v neravnovesnoy nizkotemperaturnoy plazme khlora i ego smesey s inertnymi i molekulyarnymi gazami. Proanalizirovano vliyanie vneshnikh parametrov razryada na energeticheskoe raspredelenie elektronov, transportnye i kineticheskie kharakteristiki elektronnogo gaza. Proveden analiz kinetiki neytralnykh i zaryazhennykh chastits; ustanovleny vzaimosvyazi zadavaemykh parametrov plazmy i nachalnogo sostava plazmoobrazuyushchikh smesey so statsionarnymi kontsentratsiyami aktivnykh chastits i plotnostyami ikh potokov na poverkhnost, ogranichivayushchuyu zonu plazmy. Privodyatsya rezultaty issledovaniy kineticheskikh zakonomernostey i mekhanizmov vzaimodeystviya aktivnykh chastits plazmy s ryadom metallov i poluprovodnikov. Kniga prednaznachena nauchno-tekhnicheskim rabotnikam v oblasti neravnovesnoy plazmokhimii i plazmokhimicheskoy tekhnologii, a takzhe studentam i aspirantam sootvetstvuyushchikh spetsialnostey.
