В учебнике рассмотрены общие и специальные вопросы проектирования элементов и устройств технологических систем электронной техники вакуумных систем оборудования тонкопленочной технологии, вакуумных устройств с бесконтактным магнитным взаимодействием, магнитных и электромагнитных систем вакуумного технологического оборудования, l-координатных исполнительных устройств, устройств на основе волнового движения и вводов движения в вакуум, опорных узлов, различных передаточных механизмов, трибосопряжений с модифицирующими полимерными покрытиями, электростатических крепежных устройств, а также вопросы расчета функциональных систем вакуумного оборудования на привносимый уровень загрязнений, газовыделение и др. Учебный материал соответствует курсу «Теория механизмов и машин», он четко систематизирован, дан в доступной для понимания форме. Текст содержит чертежи, информативные схемы, таблицы и графики. Главным плюсом учебника является наличие большого количества методологически эффективных практических примеров с разбором решений.
V uchebnike rassmotreny obshchie i spetsialnye voprosy proektirovaniya elementov i ustroystv tekhnologicheskikh sistem elektronnoy tekhniki vakuumnykh sistem oborudovaniya tonkoplenochnoy tekhnologii, vakuumnykh ustroystv s beskontaktnym magnitnym vzaimodeystviem, magnitnykh i elektromagnitnykh sistem vakuumnogo tekhnologicheskogo oborudovaniya, l-koordinatnykh ispolnitelnykh ustroystv, ustroystv na osnove volnovogo dvizheniya i vvodov dvizheniya v vakuum, opornykh uzlov, razlichnykh peredatochnykh mekhanizmov, tribosopryazheniy s modifitsiruyushchimi polimernymi pokrytiyami, elektrostaticheskikh krepezhnykh ustroystv, a takzhe voprosy rascheta funktsionalnykh sistem vakuumnogo oborudovaniya na privnosimyy uroven zagryazneniy, gazovydelenie i dr. Uchebnyy material sootvetstvuet kursu Teoriya mekhanizmov i mashin, on chetko sistematizirovan, dan v dostupnoy dlya ponimaniya forme. Tekst soderzhit chertezhi, informativnye skhemy, tablitsy i grafiki. Glavnym plyusom uchebnika yavlyaetsya nalichie bolshogo kolichestva metodologicheski effektivnykh prakticheskikh primerov s razborom resheniy.
